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    硬质合金模具的三极和四极溅射

    发布时间:2020-05-31 浏览:509次 字号:  

    硬质合金模具的三极和四极溅射:

    三极溅射是在二极溅射的装置上附加一个电极,使放出热电子强化放电。它既能使溅射速率有所提高,又能使溅射工况的控制更为方便。这种溅射方法还是不能仰制由靶产生的高速电子对基片的轰击,还存在因灯丝具有不纯物而使膜层沾污等问题。

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